ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРОВ
- ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРОВ
- процесс нанесения чисто внешнего покрытия или покрытия с модификацией покрываемой поверхности, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика наносятся на нагретое изделие. Газообразные реактивы разлагаются или соединяются на поверхности изделия, в результате чего на ней образуются желаемые элементы, сплавы или компаунды. Энергия для такого разложения или химической реакции может быть обеспечена за счет нагрева изделия плазменным разрядом или лучом лазера.
Словарь понятий и терминов, сформулированных в нормативных документах российского законодательства.
В. Арбесман.
2003.
Смотреть что такое "ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРОВ" в других словарях:
Химическое осаждение из паровой фазы — 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждается на нагретую подложку.… … Официальная терминология
химическое осаждение атомарных слоев из паров — То же, что осаждение атомарных слоев [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN ALCVDatomic layer chemical vapor deposition … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные … Энциклопедический словарь нанотехнологий
химическое осаждение из паров металлорганических соединений — Термин химическое осаждение из паров металлорганических соединений Термин на английском metalorganic chemical vapour deposition Синонимы Аббревиатуры MOCVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная Определение… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги) — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиадгезияволокна, борныеволокна, карбидкремниевыегетероэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мервемеханизмы роста… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
газофазный синтез с конденсацией паров — Термин газофазный синтез с конденсацией паров Термин на английском gas phase synthesis with vapour condensation Синонимы метод испарения и конденсации, evaporation condensation method Аббревиатуры Связанные термины Определение метод получения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Карбид кремния — Карбид кремния … Википедия
Рулонная технология — или roll to roll processing процесс изготовления электронных приборов на рулонах гибкого пластика или металлической фольги.[1][2] Большие интегральные схемы, содержащие тонкопленочные транзисторы и другие устройства, можно сравнительно легко… … Википедия
